EBARAESA系列真空干泵抽速达1400L/min～10,000L/min，适合氢气等轻质气体排气，以及20,000L/min～80,000L/min排气量的机型，适合大型腔室高速排气；采用紧凑化设计，可以选择耐腐蚀性材料选配件，是MO-CVD等大流量轻质气体排气用途的zuijia选择。大型机型兼具大排气量和静音低振的优点，还可选择有机溶剂排气用选配件，是LCD溅镀装置、真空干燥工艺和大型预真空的zuijia选择。EBRA真空泵优良的控制和监测在半导体等要求苛刻的需求中得到长时间验证。
技术特点：
l满足大型真空腔室高速排气要求
l低能耗、高抽速
l选配后可抽取有机气体、腐蚀性气体
l适合氢气等轻质气体排气
l智能转子RPM控制功能，可实现灵活的气体通量
l认证标准：CE、SEMI-S2/NRTL
典型应用：
lLCD、FPD、OLED等行业
l高含量轻质气体的真空抽取（如H2）
l腐蚀性气体的抽取
lPVD、MOCVD等工艺
l半导体、光伏制程
EBARA真空泵
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